
Near-non-preferential sputtering of multicomponent solids as an effective way for production of dense cone shape arrays on a sputtered surface
FOLYÓIRAT PUBLIKÁCIÓ
Szerző vagy szerzők: D.M. Zayachuk, Y.D. Zayachuk, Cs. Buga, V.E. Slynko, A. Csík
A publikáció címe: Near-non-preferential sputtering of multicomponent solids as an effective way for production of dense cone shape arrays on a sputtered surface
Megjelenés helye: Elsevier
DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110058
A publikáció időpontja: 2021. január 12